Модель AS200B рассчитана на управление расходом в расширенном диапазоне. Электроника обеспечивает точное поддержание заданных значений. Применяется в системах контроля среды.
Регулятор AS200 обеспечивает регулирование расхода газа в средних диапазонах. Конструкция устойчива к перепадам давления. Используется в технологических процессах.
Регулятор AMC2000 управляет массовым расходом газа с высокой точностью. Электронная схема стабилизирует поток независимо от условий. Применяется в лабораторных и промышленных установках.
Прецизионные газовые расходомеры для вакуумных и технологических систем
Прецизионные газовые расходомеры предназначены для точного дозирования и контроля подачи газов в технологические процессы, включая работу с вакуумными камерами, реакторами и лабораторным оборудованием. Такие устройства находят применение в полупроводниковой промышленности, исследованиях материалов, тонкоплёночных покрытиях, термическом осаждении (CVD) и других чувствительных к параметрам среды процессах.
Основные особенности:
-
Высокая точность и стабильность измерений: обеспечивают надёжное управление расходом даже при малых объемах (от долей мл/мин).
-
Широкий диапазон измерений: модели с диапазонами от 0,01 до 50 л/мин, с возможностью выбора под конкретный газ.
-
Совместимость с различными типами газов: инертные, активные, коррозионные и смеси (в зависимости от материала проточной части).
-
Интерфейсы для интеграции: аналоговый и цифровой выходы (например, 0–5 В, RS-485, Modbus), простая интеграция в автоматизированные системы управления процессом.
-
Компактный форм-фактор: удобная установка в ограниченном пространстве лабораторий и производственных установок.
Применение:
-
Вакуумные камеры и установки
-
Газовые линии для напыления и осаждения
-
Системы контроля атмосферы в печах
-
Лабораторные и исследовательские стенды
-
Прецизионная дозировка реактивных и калибровочных газов
Мы предлагаем модели с индивидуальной калибровкой под нужный тип газа, а также с возможностью настройки на заводе под параметры вашего процесса.