AGP11 (0–1000 Торр) — Пьезорезистивный вакуумметр с аналоговым или токовым выходом

AGP11 — высокоточный вакуумный датчик на основе пьезорезистивной технологии, разработанный для измерения абсолютного давления в диапазоне 0–1000 Торр. В основе прибора — чувствительный кремниевый сенсор, погружённый в диэлектрическое масло, что обеспечивает стабильность характеристик и защиту от внешних воздействий. Конструкция устойчива к вибрациям, загрязнению среды и агрессивным химическим веществам. Вакуумметр формирует линейный аналоговый сигнал 0–10 В либо токовый выход 4–20 мА в зависимости от выбранной модификации.

Для пользователей, которым важна подтверждённая точность измерений, вакуумметр AGP11 может проходить поверку и калибровку в аккредитованной по ГОСТ ISO/IEC 17025‑2019 лаборатории «Ликтест». Это позволяет включать датчик в состав измерительных систем с жёсткими требованиями к прослеживаемости и метрологическому обеспечению.

Конструктивные особенности

• Диапазон измерений: 0…1000 Торр
• Основная погрешность: ±0,5% от полной шкалы
• Выходной сигнал: 0–10 В или 4–20 мА (опционально)
• Напряжение питания: 9–24 В DC
• Время отклика: ≤50 мс
• Максимальное избыточное давление: до 300 кПа
• Электрический разъём: Hersman, промышленный круглый
• Присоединение по давлению: фланец KF16
• Материал корпуса: нержавеющая сталь 304 и 316L
• Рабочий температурный диапазон: от +5 до +45 °C
• Масса: 180 г

Принцип действия

AGP11 основан на пьезорезистивном кремниевом сенсоре, который регистрирует микродеформации мембраны под воздействием давления газа. Давление передаётся через слой масла на тензорезисторы, интегрированные в кремниевый кристалл. Такое решение обеспечивает высокую линейность характеристики, низкий уровень шумов и минимальный гистерезис. Отсутствие зависимости показаний от газового состава делает AGP11 универсальным датчиком для различных вакуумных процессов и сред.

Типовые области применения

Вакуумметр AGP11 (0–1000 Торр) применяется в системах, где требуется контролировать давление от глубокого до технического вакуума:

• Вакуумные печи, сушильные камеры, дегазационные установки
• Линии вакуумной упаковки в пищевой и медицинской промышленности
• PECVD, установки вакуумного напыления, металлургические процессы
• Полупроводниковое и микроэлектронное оборудование
• Научно-исследовательские лаборатории, климатические камеры, испытательные стенды
• Аэрокосмическая отрасль и нефтехимическое производство
• Оборудование для водоподготовки, очистных сооружений и энергетики

Для подтверждения соответствия требованиям отраслевых регламентов и стандартов измерения давления, выполненные AGP11, могут быть подтверждены протоколами калибровки из аккредитованной по ГОСТ ISO/IEC 17025‑2019 лаборатории «Ликтест».

Калибровка

Каждый датчик AGP11 проходит на заводе-изготовителе контроль точности, проверку повторяемости показаний и времени отклика. Это позволяет использовать прибор в составе аккредитованных лабораторий и на производственных объектах с обязательным метрологическим контролем. При необходимости может быть выполнена дополнительная калибровка и поверка в независимой аккредитованной лаборатории «Ликтест» в соответствии с требованиями ГОСТ ISO/IEC 17025‑2019, с выдачей официального протокола.

Выбор модификации

Датчик AGP11 выпускается в нескольких вариантах исполнения:

• AGP11-V — с аналоговым выходом 0–10 В
• AGP11-A — с токовым выходом 4–20 мА
• AGP11-D — с интегрированным цифровым дисплеем

Подбор модификации осуществляется исходя из типа используемой системы сбора данных, длины линий связи, требований к помехоустойчивости и необходимости локальной индикации измеряемого давления.

Электрическое подключение

Промышленный разъём Hersman имеет 4 контакта:

• 1 — Питание + (9–24 В DC)
• 2 — Выход сигнала +
• 3 — Общий (сигнальный/питание –)
• 4 — Земля (GND, корпус)

AGP11 (0–1000 Торр) — надёжный и стабильный вакуумметр для промышленного и лабораторного применения, обеспечивающий точное, воспроизводимое и не зависящее от состава газа измерение абсолютного давления. Прибор может быть включён в состав измерительных комплексов, калиброванных в аккредитованной по ГОСТ ISO/IEC 17025‑2019 лаборатории «Ликтест», что особенно важно для сертифицированных производств и испытательных центров.