AGP10 (0–100 Торр) — Пьезорезистивный вакуумметр для задач технологического вакуума

AGP10 с рабочим диапазоном от 0 до 100 Торр — это промышленный вакуумметр, реализованный на базе диффузионного кремниевого сенсора, залитого маслом. Прибор предназначен для высокоточного контроля давления в области низкого и среднего вакуума, где критичны стабильность показаний, надёжность и удобство встраивания в технологическую линию. За счёт пьезорезистивной технологии и герметичного исполнения измеритель обеспечивает устойчивую повторяемость результатов даже при температурных колебаниях и вибрационных нагрузках.

Принцип действия

Основой измерения служит пьезорезистивный эффект в монокристаллическом кремнии: под воздействием внешнего давления чувствительная мембрана деформируется, изменяя сопротивление интегрированных тензорезисторов. Эти изменения преобразуются в линейный аналоговый сигнал 1–5 В. Сенсорная ячейка заполнена специальным диэлектрическим маслом, которое изолирует её от агрессивных и химически активных газов и обеспечивает точную передачу давления к чувствительному элементу.

Пьезорезистивные преобразователи являются прямыми измерителями абсолютного давления и не зависят от состава газа, что особенно важно при эксплуатации в переменных, загрязнённых или многокомпонентных газовых средах.

Технические характеристики модели AGP10 (0–100 Торр)

• Диапазон измерения: 0…100 Торр
• Основная погрешность: ±0,5% от полной шкалы (FS)
• Выходной сигнал: 1…5 В DC (линейная характеристика)
• Напряжение питания: 15–24 В DC
• Сопротивление нагрузки: ≥10 кОм
• Время отклика: не более 50 мс
• Рабочий температурный диапазон: от +5 до +45 °C
• Тип присоединения к вакуумной системе: фланец KF16
• Материал корпуса: нержавеющая сталь 316L
• Электрический разъём: Hersman (выводы питания и сигнального выхода)
• Масса: 0,45 кг

Области применения

AGP10 с верхним пределом 100 Торр оптимально подходит для систем, где требуется точный, долговечный и воспроизводимый контроль среднего вакуума:

• вакуумная упаковка пищевой, медицинской и технической продукции;
• низковакуумная сушка, дегазация и кондиционирование материалов;
• вакуумные печи, камеры с терморегулированием и термообработкой;
• плазменная сварка, пайка, гальванические процессы в вакууме;
• производство фотоники, солнечных элементов, процессы PECVD и PVD;
• автоматизированные вакуумные станции, откачные посты и технологические модули.

Поверка и калибровка

Каждый датчик серии AGP10 проходит заводскую калибровку и контроль по параметрам точности, воспроизводимости и быстродействия. При необходимости вакуумметр может быть поверен в официальных метрологических организациях на территории РФ, включая ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева», а также в аккредитованной по ГОСТ ISO/IEC 17025‑2019 испытательной лаборатории «Ликтест». Это обеспечивает метрологическую прослеживаемость результатов измерений и даёт возможность применять прибор в системах, где требуется действующее свидетельство о поверке и подтверждённая калибровка.

Преимущества модели AGP10 (0–100 Торр)

• Высокая точность и стабильность в диапазоне технического вакуума
• Полная независимость показаний от состава контролируемого газа
• Низкое энергопотребление и повышенная надёжность конструкции
• Компактный промышленный корпус из нержавеющей стали с высокой механической прочностью
• Простая интеграция в существующее оборудование благодаря стандартному аналоговому выходу и промышленному разъёму
• Возможность сертифицированной первичной поверки и калибровки в РФ, в том числе в аккредитованной по ГОСТ ISO/IEC 17025‑2019 лаборатории «Ликтест»