Вакуумметр AGP2111 — высокоточный ёмкостный датчик давления (0–10 Торр)

AGP2111 — это прецизионный вакуумметр с ёмкостной диафрагмой, предназначенный для высокоточного контроля давления в диапазоне 0–10 Торр. Прибор применяется там, где особенно важны стабильность и точность измерений низкого давления: в производстве полупроводников, вакуумной упаковке, плазменных технологиях, процессах стерилизации и научных экспериментах. В конструкции сенсора используется коррозионностойкий сплав Inconel, что обеспечивает длительный срок службы при работе с химически активными и агрессивными газовыми средами.

Для подтверждения метрологических характеристик вакуумметр AGP2111 может проходить поверку и калибровку в аккредитованной по ГОСТ ISO/IEC 17025-2019 лаборатории «Ликтест», что гарантирует прослеживаемость результатов измерений и соответствие действующим требованиям к испытательным и калибровочным лабораториям.

Принцип действия и теория измерений

AGP2111 относится к классу ёмкостных диафрагменных вакуумметров. В основе чувствительного элемента лежит упругая металлическая мембрана, расположенная между двумя электродами. Под действием разности давлений по обе стороны диафрагмы происходит её упругое прогибание, которое изменяет электрическую ёмкость между электродами. Это изменение ёмкости регистрируется высокочувствительным измерительным модулем и преобразуется в аналоговый или цифровой выходной сигнал.

Ёмкостный метод измерения давления относится к абсолютным и не зависит от состава газа, в отличие от термокондукционных (Пирани) или ионизационных вакуумметров. Благодаря этому AGP2111 оптимален для точных, воспроизводимых измерений в системах, где газовый состав может меняться во времени.

Основные технические характеристики

• Диапазон измерений: 0…10 Торр
• Основная погрешность: ±0,3% от текущего показания
• Время отклика: ≤60 мс
• Рабочий температурный диапазон: 5…50 °C
• Выходной сигнал: 0–10 В (линейная характеристика), RS485 (Modbus RTU)
• Интерфейс подключения к вакуумной системе: KF16 (опции: KF25, VCR, NPT и др.)
• Предельное избыточное давление: до 300 кПа
• Материал корпуса и тракта: нержавеющая сталь 304, Inconel
• Питание: 15–30 В DC
• Рекомендуемое время прогрева перед измерениями: не менее 15 минут

Калибровка и обнуление

Для обеспечения корректной работы и минимизации систематической погрешности требуется выполнить процедуру обнуления (zeroing) при давлении ниже 5×10⁻⁴ Торр. После достижения и стабилизации необходимого уровня вакуума пользователь заходит в меню «Настройки» → «Обнуление», после чего показание на экране устанавливается на 0.00 Торр.

Поверка и калибровка вакуумметра AGP2111 могут выполняться в аккредитованной по ГОСТ ISO/IEC 17025-2019 лаборатории «Ликтест» с оформлением соответствующих протоколов, что особенно важно для предприятий, работающих по системам менеджмента качества и требованиям отраслевых стандартов.

Аналоговый выход

AGP2111 формирует линейный аналоговый сигнал, пропорциональный измеряемому давлению:

U = P, где U — выходное напряжение (В), P — давление (Торр). Например, при давлении 4.5 Торр на аналоговом выходе формируется напряжение 4.5 В.

Цифровой интерфейс

Вакуумметр оснащён цифровым интерфейсом RS485 с протоколом Modbus RTU, что упрощает интеграцию в АСУ ТП, лабораторные стенды и промышленные системы мониторинга. Пользователь может изменять сетевой адрес устройства (1–255), выбирать скорость обмена данными (4800, 9600, 19200, 115200 бод), а также переключать единицы измерения давления (Па, Торр, мбар).

Интерфейс и управление

На передней панели прибора установлен цветной TFT-LCD дисплей и три функциональные клавиши. Через меню конфигурации можно:

• задать адрес устройства в сети RS485;
• изменить скорость передачи данных;
• выбрать удобные единицы измерения давления;
• просмотреть текущие параметры: измеренное давление, значение аналогового выхода, параметры калибровки и служебную информацию.

Области применения

AGP2111 особенно хорошо зарекомендовал себя в следующих задачах:

• процессы ALD и PECVD нанесения тонких плёнок;
• плазменное травление, модификация и очистка поверхностей;
• вакуумная сушка и герметичная упаковка чувствительных материалов;
• фармацевтическая стерилизация и обработка в условиях низкого вакуума;
• научные исследования и лабораторные измерения, включая метрологические испытания.

Для лабораторных и исследовательских применений возможно регулярное подтверждение точностных характеристик в аккредитованной по ГОСТ ISO/IEC 17025-2019 лаборатории «Ликтест», что важно при публикации результатов и участии в межлабораторных сличениях.

Преимущества по сравнению с альтернативами

По сравнению с термокондукционными (Пирани) и ионизационными вакуумметрами, модель AGP2111 обладает рядом ключевых преимуществ:

• не требует перенастройки и калибровки под конкретный тип газа;
• сохраняет стабильность показаний в загрязнённых и агрессивных газовых средах;
• обеспечивает высокую воспроизводимость и долговечность сенсора;
• легко интегрируется в автоматизированные системы управления и мониторинга;
• подходит для метрологического сопровождения в лаборатории «Ликтест», аккредитованной по ГОСТ ISO/IEC 17025-2019.

Указания по эксплуатации

Монтаж допускается в любом пространственном положении, однако для достижения наилучшей стабильности показаний рекомендуется вертикальная ориентация. Уплотнительные поверхности и фланцевые соединения должны быть чистыми, без следов коррозии и механических повреждений. В процессе эксплуатации необходимо:

• не превышать максимально допустимое избыточное давление;
• обеспечивать стабильность питающего напряжения в указанном диапазоне;
• избегать ударных нагрузок и вибраций, выходящих за пределы технических условий;
• периодически проводить поверку или калибровку в специализированной лаборатории, например в «Ликтест», аккредитованной по ГОСТ ISO/IEC 17025-2019.

Гарантия

Официальный гарантийный срок производителя составляет 12 месяцев. Каждый прибор проходит заводской контроль: проверку точности, воспроизводимости, времени отклика и герметичности перед отгрузкой. При соблюдении всех требований по установке и эксплуатации предусмотрен бесплатный ремонт или замена изделия в течение гарантийного периода.