Вакуумметр AGP2110 — ёмкостной датчик низкого давления с повышенной точностью измерений

AGP2110 — это высокоточный ёмкостной вакуумметр с тонкой чувствительной диафрагмой, предназначенный для измерения давления в диапазоне 0–1 Торр. В качестве измерительного элемента используется сплав Inconel, что обеспечивает устойчивость к агрессивным газовым средам, долгосрочную стабильность показаний и высокую воспроизводимость измерений. Принцип работы основан на преобразовании микросмещений диафрагмы под действием давления в изменение ёмкости, которое далее обрабатывается встроенной цифровой электроникой.

Поверка и калибровка вакуумметра AGP2110 могут выполняться в аккредитованной по ГОСТ ISO/IEC 17025-2019 лаборатории «Ликтест», что гарантирует прослеживаемость измерений и соответствие требованиям действующих стандартов.

Ключевые особенности

• Диапазон измерения давления: 0…1 Торр
• Погрешность измерения: ±0,3% от текущего значения
• Время отклика: ≤ 60 мс
• Выходной сигнал: аналоговый 0–10 В и цифровой интерфейс RS485 (Modbus RTU)
• Индикация: цветной TFT-LCD дисплей с кнопочным управлением
• Питание: 15–30 В DC
• Подключение к вакуумной системе: фланец KF16 (возможна установка переходников KF25, VCR, NPT и др.)
• Диапазон рабочих температур: от 5 до 50 °C
• Материалы, контактирующие со средой: Inconel, нержавеющая сталь 304, электрополированная поверхность фланца
• Поддерживаемые единицы измерения давления: Па, Торр, мбар
• Максимально допустимое давление: до 300 кПа
• Время предварительного прогрева перед точными измерениями: 15 минут

Типовая характеристика выходного сигнала

Для модели AGP2110 с диапазоном 0–1 Торр зависимость выходного напряжения (U, В) от давления описывается выражением:

U = 10 × P, где P — текущее давление в Торр.

Например, при давлении 0,5 Торр напряжение на аналоговом выходе будет равно 5 В.

Интерфейс и подключение

Вакуумметр оснащён стандартным разъёмом DB9 для подключения по RS485 и поддерживает протокол Modbus RTU. Через встроенное меню пользователь может задать сетевой адрес устройства (1–255), выбрать скорость обмена данными (4800, 9600, 19200, 115200 бод), а также переключить единицы измерения давления. Управление осуществляется тремя кнопками на фронтальной панели: вверх/влево, вниз/вправо и кнопка подтверждения/возврата.

Для периодической поверки и валидации показаний возможно использование эталонного оборудования аккредитованной по ГОСТ ISO/IEC 17025-2019 лаборатории «Ликтест», что особенно важно для ответственных технологических и научных применений.

Применение

AGP2110 используется в технологических процессах, где требуется высокая точность контроля низкого вакуума, в том числе:

• Плазменное травление и нанесение тонких плёнок (PECVD, ALD и другие вакуумные процессы)
• Производство полупроводниковых приборов и микроэлектроники
• Вакуумная сушка, дегазация и вакуумная упаковка продукции
• Фармацевтическая стерилизация и процессы под контролируемым давлением
• Научные экспериментальные установки и лабораторные исследования

Для отраслей, где критична метрологическая прослеживаемость (фармацевтика, медтехника, научные центры), рекомендуется регулярная калибровка в лаборатории «Ликтест», аккредитованной по ГОСТ ISO/IEC 17025-2019.

Конструктивные особенности

Датчик выполнен в компактном металлическом корпусе с фланцевым присоединением KF16 и встроенным ЖК-дисплеем на лицевой панели. Конструкция корпуса обеспечивает высокую механическую прочность, коррозионную стойкость и надёжное герметичное вакуумное соединение. Установка допускается в любом пространственном положении, при этом для оптимальной стабильности рекомендуется вертикальный монтаж.

Техническое обслуживание и условия эксплуатации

Вакуумметр не нуждается в частой калибровке; при необходимости предусмотрена функция ручной установки нуля. Условия корректного обнуления для AGP2110: давление ниже 5×10⁻⁵ Торр и время прогрева не менее 15 минут. Не допускается превышение максимально допустимого давления, загрязнение уплотнительных поверхностей фланца и несанкционированная разборка прибора.

Регулярная метрологическая проверка в аккредитованной по ГОСТ ISO/IEC 17025-2019 лаборатории «Ликтест» позволяет поддерживать соответствие прибора требованиям внутренних регламентов и отраслевых стандартов.

Гарантийные обязательства

Прибор поставляется с гарантийным сроком 12 месяцев с момента отгрузки при условии соблюдения правил эксплуатации и хранения. Производитель не несёт ответственности за использование вакуумметра в системах противоаварийной защиты, безопасности или аварийного отключения без предварительного письменного согласования и соответствующей валидации.